|
Металлографический тринокулярный микроскоп СМ-400 применяется для визуального контроля линейных размеров полупроводниковых структур на подложках диаметром до 300мм при работе в отраженном свете по методу светлого и темного поля, ДИК контраста, "косого" освещения. Может использоваться в составе комплекса аппаратно-программного анализа изображений NEXSYS ImageExpert.
Особенности:
- "Прямой" тубус - изображение не переворачивается после увеличения, при перемещении образца картинка перемещается синхронно.
- Система "косого света" позволяет контрастировать объемные объекты.
- Система "молниеносного" перемещения координатного столика позволяет осуществлять быструю навигацию даже по очень большим площадям.
Технические характеристики:
|
CM-400
|
|
B
|
|---|
| Оптическая система |
Темное/светлое поле, поляризация, DIC |
o
|
|
| Темное/светлое поле, поляризация, DIC, проходящий свет |
|
o
|
|
Тубус
|
Угол наклона 25°, светоделение тринокуляра 100:0 или 50:50, прямой тип, тубусный фактор 1х или 2х.
|
|
Окуляры
|
10x/22мм
|
| Объективы |
Длиннофокусные Infinity Plan BF/DF DIC Achromatic |
LMPL5X |
| LMPL10X |
| LMPL20X |
Длиннофокусные Infinity Plan Metallurgical
BF/DF Semi-APO |
LMPL50X
LMPL100X
|
| Револьверная головка |
Пятигнездная для темного и светлого поля, со слотом для DIC |
| Столик |
Размер 350х310 мм, диапазон перемещения 150х150 мм, стеклянная вставка, система молниеносного перемещения |
o
|
|
| Размер 525х313 мм, диапазон перемещения 200х200 мм, стеклянная вставка, система молниеносного перемещения, окно для проходящего света размером 100х100мм |
|
o
|
| Механизм фокусировки |
Коаксиальный, высота подъема 30 мм, ход микровинта 0.01мм/оборот, регулировка усилий и ограничитель верхнего положения объектива |
|
Осветительная система
|
12V100W галогенная лампа |
| Проходящий свет 7W LED, N.A.0.5 |
|
o
|
| Поляризация |
Поляризатор |
| 360° вращаемый анализатор |
| Питание |
90-240V |
o
|
|
| 90-240V двойное |
|
o
|
|
Дополнительно
|
|---|
| Окуляры |
PL15x/17mm |
|
| PL10x/22mm, со шкалой |
|
| PL10x/22mm, с индивидуальной регулировкой |
|
| Объективы |
Длиннофокусный Infinity Plan BF/DF Semi-APO LMPL100X/0.9 |
|
| DIC |
DIC модуль |
|
| Фильтры |
Для отраженного света |
Голубой, <480nm |
|
| Зеленый, 520~570nm |
|
| Красный, 630~750nm |
|
| Нейтральный |
|
| Адаптеры для камеры |
0.5x C-Mount, 1/2" CCD |
|
| 1.0x C-Mount |
|
| Canon или Nikon байонет |
|
|
|
